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等離子體源火炬Aura-Wave等離子體源PECVD系統(tǒng)

更新時(shí)間:2025-09-16 [舉報(bào)]

2.45 GHz 微波等離子體源是一種用于產(chǎn)生等離子體的設(shè)備,它利用 2.45 GHz(千兆赫)的微波頻率來(lái)產(chǎn)生電離氣體。這種技術(shù)在各種工業(yè)和科學(xué)應(yīng)用中都有重要應(yīng)用。

在 2.45 GHz 頻率下產(chǎn)生的微波具有產(chǎn)生等離子體的特優(yōu)勢(shì)。在這個(gè)頻率下,微波可以有效地與氣體的電子共振,從而提高電離效率。此外,2.45 GHz 頻率允許使用相對(duì)較小的腔體尺寸,這對(duì)于緊湊型等離子體源的設(shè)計(jì)非常有用。 微波等離子體源具有多種應(yīng)用,包括:

Sairem公司是法國(guó)一家專注于提供微波源、微波等離子體源的公司,它的微波源被廣泛應(yīng)用于PECVD法制造生長(zhǎng)金剛石設(shè)備中,等離子體源用于清洗、噴濺、蝕刻等設(shè)備中。

Sirem微波等離子體源源被設(shè)計(jì)成立或遠(yuǎn)程操作、良好的電力穩(wěn)定性和顯著低電力損耗。 詳細(xì)和交互式的界面使它們易于操作、使用,可以通過(guò)RS232、RS485, ETHERNET 或現(xiàn)場(chǎng)總線連接進(jìn)行模擬控制,如CanOpen、Modbus、Profibus等。
SAIREM微波等離子體源可以用于藥材提純的過(guò)程。微波加熱可以提高藥材的溫度并加速化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)藥材的快速提純。SAIREM微波源具有穩(wěn)定的性能和高功率輸出,可確保藥材提純過(guò)程的性和可靠性。通過(guò)調(diào)節(jié)微波功率和加熱時(shí)間,可以控制藥材提純的過(guò)程,使其達(dá)到理想的純度要求。這使得SAIREM微波源在藥材提純領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。
微波等離子體源是一種通過(guò)微波能量激發(fā)氣體分子來(lái)產(chǎn)生等離子體的裝置。它通常由微波發(fā)生器、諧振腔和等離子體室組成。微波發(fā)生器會(huì)產(chǎn)生一定頻率和功率的微波能量,然后將微波能量通過(guò)諧振腔傳遞到等離子體室中的氣體分子上。氣體分子會(huì)被激發(fā)并產(chǎn)生等離子體,這種等離子體可以用于各種應(yīng)用,如材料表面處理、離子束刻蝕等。微波等離子體源在科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中都有廣泛的應(yīng)用。

標(biāo)簽:等離子體源ECR同軸等離子體源
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