探針結(jié)構(gòu)設計(如針形)作為半導體試驗設備的關(guān)鍵部件、針頭材料(如鎢、鷸銅)、彈性大小等都會影響探針的穩(wěn)定性、細微性、信號傳導精度等,從而影響探針的測試精度。
由于半導體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程十分復雜,任何一個環(huán)節(jié)出現(xiàn)錯誤都可能導致大量產(chǎn)品質(zhì)量不合格,甚至對終的應用產(chǎn)品的性能產(chǎn)生重大影響。因此,測試在半導體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中具有非常重要的地位,貫穿于半導體產(chǎn)品的設計、制造、包裝和應用的整個過程中。
在眾多探針技術(shù)中,五孔探針是一種應用于流體動力學領(lǐng)域,特別是對于復雜流場特性測量的工具。它的設計基于伯努利原理和流體連續(xù)性方程,主要用于測量氣流的速度、壓力分布以及流場的湍流特性。五孔探針因其結(jié)構(gòu)包含五個開孔而得名,這五個孔一般按照特定的幾何布局排列。