目前市場上使用最為廣泛的幾種磨料是SiO2、CeO2、Al2O3。其中Al2O3憑借其硬度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點,廣泛應用于藍寶石、碳化硅等材料的CMP技術中。Al2O3具有10余種晶型,其中常見的為α、β、γ等,一般選用50~200nm粒徑分布均勻的α-Al2O3作為拋光磨粒。
氧化鋁拋光液和研磨材料適用于金相、巖相、復合材料的高精度研磨及拋光等表面處理:
1、手機殼,陶瓷,玻璃、水晶、光學玻璃等振動拋光(機器拋光、滾動拋光)、手動拋光(研磨拋光)等。人造寶石、天然寶石、鋯石、玉石、翡翠、瑪瑙。
2、單晶硅片等半導體、壓電晶學、光學晶體、光學玻璃、光學塑料、計算機硬盤、光學鏡頭、單芯光纖連接器、微晶玻璃基板、
3、鋁材、銅材、不銹鋼等金屬表面研磨拋光。
4、汽車油漆打磨拋光,樹脂拋光等,油漆表面、亞克力、非鐵金屬的表面拋光。
5、 劃痕去除:寶石、首飾、微晶玻璃、鋁板、鋼板、塑料殼、壓克力等劃傷劃痕;汽車,船舶等表面油漆出現(xiàn)的輕微劃痕等只要涂上少許拋光液,用海綿布或者拋光墊等在其表面來回拋磨,很快就光亮如新,無一點擦痕。
當我們使用了這種拋光液之后,它可以通過純粹的機械拋光快速地去除材料,達到不錯的表面處理效果。而如果選用其它種類的拋光液,比如具有弱堿性的硅膠拋光液,那就要通過化學/機械的拋光方法與材料表面形成反應層。雖然柔軟的硅膠去除反應層也可以得到一個高質量的表面,但是在工藝上無疑麻煩了許多。使用氧化鋁拋光液可以算是一次性拋光成型的。所以大家在大部分的情況下,比如我們在做金相時,往往都是使用這種可以通過純粹機械拋光的拋光液。