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電子無塵車間是非常容易產(chǎn)生靜電的地方，一般情況下靜電還會對電子產(chǎn)品造成短路故障甚至是會造成員工導(dǎo)電暈倒事故，因而電子潔凈車間相對濕度不宜低于30%，這樣才能夠降低靜電的產(chǎn)生。
同時建議電子潔凈車間的防靜電區(qū)域相對濕度不低于50%。太過于干燥的空氣非常容易形成粉塵、顆粒物、細(xì)菌病毒的飛揚(yáng)。
電子潔凈車間在無特別的要求的情況下，溫度控制在22℃上下，相對濕度控制在55～60%RH之間，在這種室內(nèi)環(huán)境下，大家若是感覺較為舒適的話，那就表示靜電消失了。
空態(tài)檢測方法
指的是無塵車間系統(tǒng)已處在一切正常的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，但工藝設(shè)備以及工作人員還未進(jìn)入到無塵車間的情況下檢測的。
無塵凈化車間主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間。
無塵車間的冷負(fù)荷中的主要負(fù)荷是新風(fēng)冷負(fù)荷，消除工藝設(shè)備和工藝過程產(chǎn)熱的冷負(fù)荷和抵消風(fēng)機(jī)和水泵發(fā)熱的冷負(fù)荷，這三項(xiàng)負(fù)荷占總冷負(fù)荷的90%以上；而圍護(hù)結(jié)構(gòu)、照明和作業(yè)人員三項(xiàng)冷負(fù)荷不足總冷負(fù)荷的10%。
