型式 強酸性陽離子交換樹脂 強堿性陰離子交換樹脂
主體結構 交聯(lián)聚苯乙烯 交聯(lián)聚苯乙烯
官能基 磺酸基 I 型季胺官能基
物理性質 球狀顆粒 球狀顆粒
離子型式 氫型 氫氧型
粒徑范圍 16-50 16-50
粒度范圍 0.3-1.2mm 0.3-1.2mm
微粒含量 小于 0.3 的 2%經過 40 sh 小于 0.3 的 2%經 40 sh
總交換容量 1.8 meq/ml
PH 范圍 0-14 0-14
允許溫度 120℃ 80℃
溶解率 不溶于任何常見溶劑 不溶于任何常見溶劑
半導體拋光樹脂是一種用于半導體制造過程中的材料,主要用于拋光半導體晶圓的表面。它能夠去除晶圓表面的缺陷、氧化層以及其他污染物,使晶圓表面變得平滑,以提高半導體器件的性能和可靠性。 半導體拋光樹脂通常由有機聚合物、磨料和添加劑組成。有機聚合物作為基礎材料,能夠提供樹脂的粘結性和拋光性能;磨料則起到研磨晶圓表面的作用,常見的磨料有二氧化硅、氧化鋁等;添加劑則用于調節(jié)樹脂的黏度、pH值等特性,以及提供一定的抗氧化性能。 在半導體制造過程中,半導體拋光樹脂通常通過機械拋光的方式應用于晶圓表面。晶圓被放置在旋轉盤上,樹脂涂敷在晶圓表面,然后通過旋轉盤和拋光墊的摩擦作用,使樹脂中的磨料研磨晶圓表面,達到平滑和去除缺陷的效果。 半導體拋光樹脂具有良好的拋光性能、穩(wěn)定的化學性質和可靠的機械性能,可以滿足半導體制造過程中對晶圓表面質量的要求。同時,它還能夠減少晶圓表面的殘留污染物,提高半導體器件的性能和可靠性,因此在半導體制造工藝中得到了廣泛應用。
目前部分國內用戶對拋光混床樹脂的了解過于單一,比如一些用戶(比如實驗室用水)認為自己的用水量不大,設備不帶再生能力,而對出水指標要求又比較高,所以把一切要求都寄托于拋光混床樹脂的處理上,其實這種想法是有問題的。個人一直想對目前高純水、超純水市場的一些不正?,F象提幾點建議,現在正好借你的問題一起交流溝通如下:
1)市場通及對比
由于早些年很多高純水、超純水設備乃至生產線都是國外引進,所以拋光混床樹脂也都是國外。就目前市場通的國外拋光混床樹脂的品質而言,羅門哈斯的拋光樹脂出水指標佳,陶氏和朗盛隨后。國產中規(guī)模化生產線并不多見,年產能1000立方以上的就浙江爭光一家。但由于合成原料純度、樹脂選型及生產工藝的嚴謹性不同,國外拋光樹脂的品質憂于國產拋光樹脂,當然,國外拋光樹脂的價格也遠遠國產拋光樹脂。