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DL-78型單晶爐的熱場(chǎng)和減壓工藝\1前言集成電路生產(chǎn)的發(fā)展一方面不斷縮小元件尺寸,以提高集成度;另一方面不斷擴(kuò)大硅片直徑以減少芯片的離故度和降低成本。相應(yīng)地,作為集成電路基礎(chǔ)材料的硅單晶生產(chǎn)也在不斷地提高其技術(shù)質(zhì)量指標(biāo)和增大單晶錠的直徑和長(zhǎng)度,以滿足電路的要求和降低自身的生產(chǎn)成本。在國(guó)外市場(chǎng)上,硅晶體直徑大致每4~5年增長(zhǎng)1時(shí)(25.4mm),相應(yīng)地,生產(chǎn)投料重也由1公斤逐漸發(fā)展為3~5公斤、8~12公斤、15~劉公斤和朋~6O公廳等幾個(gè)等級(jí)。在這發(fā)展中,有兩個(gè)條件是相輔相成、共同進(jìn)步的,這是單晶爐和拉晶工藝。
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爐子本體包括機(jī)架、坩堝驅(qū)動(dòng)裝置、主爐室、翻板閥、副爐室、籽晶提升機(jī)構(gòu)、液壓驅(qū)動(dòng)裝置、真空系統(tǒng)、沖系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)。機(jī)架由底座、上立柱和下立柱組成,是爐子的支撐裝置。江浙滬皖贛冶煉行業(yè)成套設(shè)備回收單位,整改停用冶煉機(jī)械產(chǎn)品拆除回收,本長(zhǎng)期收購(gòu)中頻爐,單晶爐,電解爐,高風(fēng)爐,熱風(fēng)爐,單晶硅生長(zhǎng)爐,整改回收,整流柜收購(gòu),電抗器拆除回收,水冷電纜拆除收購(gòu),動(dòng)力電纜拆除收購(gòu)業(yè)務(wù),我長(zhǎng)年收購(gòu)單晶爐設(shè)備歡迎來電詳詢。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,因此,避免提拉系統(tǒng)的晃動(dòng)是單晶爐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵點(diǎn)之一。在生產(chǎn)實(shí)際中發(fā)現(xiàn),某型號(hào)單晶爐的提拉系統(tǒng)在工作轉(zhuǎn)速接近13~14r/min范圍時(shí),提拉系統(tǒng)的軟軸會(huì)出現(xiàn)明顯的晃動(dòng),這個(gè)問題一直制約著晶體生長(zhǎng)的質(zhì)量和生產(chǎn)效率的提高。以前雖然提出過很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對(duì)單晶爐的提拉系統(tǒng)進(jìn)行分析,找出引起提拉系統(tǒng)軟軸晃動(dòng)