金剛石懸浮液主要由金剛石顆粒和液體介質(zhì)兩部分組成。金剛石顆粒的粒徑通常在納米至微米級(jí)別,具有較高的硬度和耐磨性,能夠承受較大的壓力和摩擦力。液體介質(zhì)則負(fù)責(zé)將金剛石顆粒均勻分散在體系中,保持其懸浮狀態(tài)。
懸浮管理體系的基本要素是確保金剛石顆粒物的勻稱懸浮,不地基沉降,那樣每一次滴注的懸浮液中所帶有的金剛石磨??倲?shù)非常,才可以完成加液。除此之外,懸浮液體得確保金剛石的勻稱分散化,不結(jié)塊,不產(chǎn)生假二次顆粒物。伴隨著技術(shù)性的發(fā)展,懸浮管理體系又集成化了制冷作用和潤(rùn)化作用,促使拋光全過程更為光滑可控性。
納米金剛石球形形狀和細(xì)粒度粉體能達(dá)到超精密的拋光效果,且具有良好的分散穩(wěn)定性,能保持長(zhǎng)時(shí)間不沉降,粉體在分散液中不發(fā)生團(tuán)聚。廣泛用于硬質(zhì)材料的超精密拋光過程,可使被拋表面粗糙度低于0.2nm。
金剛石拋光液(又稱懸浮液,鉆石研磨液)包括聚晶、單晶和納米3種不同類型的拋光液。金剛石拋光液由金剛石微粉、復(fù)合分散劑和分散介質(zhì)組成,配方多樣化,對(duì)應(yīng)不同的研拋過程和工件,適用性強(qiáng)。產(chǎn)品分散性好、粒度均勻、規(guī)格、質(zhì)量穩(wěn)定,廣泛用于硬質(zhì)材料的研磨和拋光。
懸浮液中的金剛石,磨粒始終處于均勻浮游的狀態(tài),具備優(yōu)良的分散性,且能很好的附著在磨拋載體(如磨盤、砂紙、拋光布)上,因具強(qiáng)力粘結(jié)性而使磨拋設(shè)備即便在高速運(yùn)中,金剛石磨粒也不會(huì)流失,損耗極低。
金剛石懸浮液應(yīng)用領(lǐng)域:
①半導(dǎo)體晶片拋光液CMP加工:可用于藍(lán)寶石襯底、碳化硅、氮化鎵等半導(dǎo)體晶片;
②高硬度精密陶瓷拋光液:適用于陶瓷指紋識(shí)別片、氧化鋯陶瓷手機(jī)后殼及其它功能陶瓷;
③金屬材料研磨液:適用于不銹鋼、鋁合金、鈦合金、合金銅及其它金屬材料。