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結束語/在工業(yè)中使用除塵器收集灰塵已經有了上的歷史，但是，到目前為止，還沒有一種不論在什么條件下都能夠圓滿解決問題的除塵器。因此，要根據不同的具體情況選擇設計適用的除塵設備。對塵埃問題，世界各真空設備都有各種性能要求和規(guī)格的除塵器、過濾器供用戶選擇。國內還沒有生產性能規(guī)格的除塵器、過濾器的工廠，大都由用戶自行設計加工。設計人員掌握除塵技術的基本知識，考慮許多技術經濟因素才能滿足實際應用的要求。

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本發(fā)明的直拉式單晶生長爐中，經 輸入管輸入的氣壓為0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量為30L/min。 該流量不但不影響該爐中單晶的生長，平均每個直拉式單晶生長爐每 天可少消耗1440L，有效降低了生產成本，且利于在硅單晶生長過程 中單晶分子排列結構的整齊性，還利于提高電阻率的均布性。(2)本發(fā)明 的直拉式單晶生長爐中，碗形的氣流導向裝置設于坩堝支持器下方和爐底部的排氣口之間，且氣流導向裝置的中軸孔及一對電極孔分別與該爐的石 墨中軸及一對電極孔配合設置，有效地減小了爐內空間，便于迅速及時地 將爐內的一氧化硅與的混合氣體排出，且利于減少熱能和的消耗量，使原有的引晶功率從65KW減到61KW;另外，由于該爐的排氣口與氣流 導向裝置的各通氣孔相連通，分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，所述熱場73套裝在化料器坩堝72的外側，便硅料依次進入加料坩堝62、裝料器71和化料器坩堝72，并在化料器坩堝72內經熱場73熔化后又進入主爐室坩堝21，為了方便外部加料器6的移動、拆卸和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括用于驅動外部加料器6升降的加料器升降驅動裝置和用于驅動外部加料器6旋轉的加料器旋轉驅動裝置，所述外部加料器6通過加料器旋臂8連接在加料器升降驅動裝置上，以便通過加料器升降驅動裝置驅動加料器旋臂8升降，并通過加料器旋臂8帶動外部加料器6升降，所述加料器旋轉驅動裝置連接在加料器升降驅動裝置和加料器旋臂8之間，以便加料器旋轉驅動裝置隨加料器旋臂8一起升降，并通過加料器旋轉驅動裝置驅動加料器旋臂8旋轉，加料器旋臂8又帶動外部加料器6旋轉。