層流式(Laminar):
層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，-般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點:構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定
缺點:建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器夏蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懟ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點:管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響，
缺點:構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

1、發(fā)塵量
潔凈室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi);產(chǎn)品，材料等在運(yùn)送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略;由于金屬半壁(彩鋼夾心板)的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵量也不斷減少。
A、材質(zhì):棉質(zhì)發(fā)塵量大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式:大掛式發(fā)塵量大，上下分裝型次之，全置型少;
C、活動:動作時的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時間3-7倍;
D、清洗:用容劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一，
室內(nèi)維護(hù)結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量，以地面為準(zhǔn)，大約相應(yīng)8平方米地面時的表面發(fā)塵量與一個靜止的人的發(fā)塵量相當(dāng)。

發(fā)菌量
分析國外試驗資料可以認(rèn)為:
(1) 潔凈室內(nèi)當(dāng)工作人員穿無菌服時
靜止時的發(fā)菌量一般為10-300個/min.人
軀體一般活動時的發(fā)菌量為 150-1000個/min.人
快步行走時的發(fā)菌量為 900-2500個/min.人
(2)咳嗽-次一般為 70~700個/ min.人
噴嚏-次一般為 4000~62000個/min.人
(3)穿平常衣服時發(fā)菌量 3300~62000個/min.人
(4)無口置發(fā)菌量:有口置發(fā)菌量 1:7~1:14
(5)發(fā)菌量:發(fā)塵量 1:500~1:1000 據(jù)國內(nèi)事例:
(6)手術(shù)中人員發(fā)菌量 878個/min.人
所以，可知潔凈室內(nèi)無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個/ min,人，動態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個/
min/人，以此作為計算依據(jù)是可行的。

潔凈室里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及-些其他的設(shè)施。HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設(shè)計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。率的設(shè)計和率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。
對已建成工廠的改建通常會陷入到室無意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中。升級的投資收回率通常比直接購買新設(shè)備要高很多。大部分工廠設(shè)備翻新的投資回收期不超過兩年。也就是說，通常投資收回率至少是50%，對照投資新的固定資產(chǎn)，則只有10%到15%(即投資回收期需要七年時間)。
雖然初步設(shè)計報價昂貴，但是經(jīng)濟(jì)翻新的可能性仍然存在。設(shè)備翻新的投資回收期不超過兩年，總體而言，在某種程度上投資收回率是較高的。
下面是新建和現(xiàn)有工廠提供解決能效的十個技巧，不但提供了可靠的技術(shù)，風(fēng)險也小、而且費(fèi)用低或者不需要花錢，而投資回收期又很吸引人。

混合流潔凈室mixedairflowcleanroom
同時分別存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室。
微粒particle
懸浮在空氣中的、固態(tài)的或液態(tài)的、活性的或非活性的物質(zhì)，其粒徑(對本標(biāo)準(zhǔn)而言)在10nm~100um的范圍。
氣溶膠aerosol
在空氣中懸浮的微小固體或液體微粒的分散系，

潔凈室或潔凈區(qū)應(yīng)監(jiān)測或定期進(jìn)行性能測試，以認(rèn)證該潔凈室或潔凈區(qū)始終符合本規(guī)范的要求。
潔凈室或潔凈區(qū)性能測試認(rèn)證工作應(yīng)由檢測認(rèn)證單位承擔(dān),并提交檢測報告。
測試和認(rèn)證工作之前,系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運(yùn)行。測試和監(jiān)測儀表應(yīng)在標(biāo)定證書有效使用期內(nèi)。