層流式(Laminar):
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，-般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點:構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定
缺點:建造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器夏蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懟ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點:管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響，
缺點:構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

潔凈室氣流之流動
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。
潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0,25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)諫的提高，將影響運轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時，能以適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。
另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流:(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異:(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點，亦應(yīng)列入考慮因素。
般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走;若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。
潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少低:組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

亂流潔凈室的原理和特性
1、定義:亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室.
2、原理:亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現(xiàn)潔凈的(亂流潔凈室一般設(shè)計在干級以上至30萬級凈化級別)。
3、特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來實現(xiàn)潔凈與潔凈級別，換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別(換氣次數(shù)越多，凈化級別越高)
(1)、自凈時間:是指潔凈室按設(shè)計換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計的凈化級別的時間。 1,000級希望不超過20min(分鐘)(可取15min計算)10,000級希望不超過30min(分鐘)(可取25min計算)100,000級希望不超過40min(分鐘)(可取30min計算)
(2)、換氣次數(shù)(按上述自凈時間要求設(shè)計)1,000級 43.5-55.3次/小時(規(guī)范:50次/小時) 10,000級 23.8-28.6次/小時 (規(guī)范:25次/小時) 100,000級 14.4-19.2次/小時 (規(guī)范:15次/小時)

潔凈室里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及-些其他的設(shè)施。HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設(shè)計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。率的設(shè)計和率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。
對已建成工廠的改建通常會陷入到室無意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中。升級的投資收回率通常比直接購買新設(shè)備要高很多。大部分工廠設(shè)備翻新的投資回收期不超過兩年。也就是說，通常投資收回率至少是50%，對照投資新的固定資產(chǎn)，則只有10%到15%(即投資回收期需要七年時間)。
雖然初步設(shè)計報價昂貴，但是經(jīng)濟(jì)翻新的可能性仍然存在。設(shè)備翻新的投資回收期不超過兩年，總體而言，在某種程度上投資收回率是較高的。
下面是新建和現(xiàn)有工廠提供解決能效的十個技巧，不但提供了可靠的技術(shù)，風(fēng)險也小、而且費用低或者不需要花錢，而投資回收期又很吸引人。

靜態(tài)at-rest
全部建成且設(shè)施齊備，凈化空調(diào)系統(tǒng)運行正常，現(xiàn)場沒有人員。此時生產(chǎn)設(shè)備已安裝完畢而未運行的潔凈室狀態(tài);或生產(chǎn)設(shè)備停止運行并進(jìn)行自凈達(dá)到規(guī)定時間后的潔凈室狀態(tài);或正在按建設(shè)方(用戶)和施工方商定的方式運行的潔凈室狀態(tài)。是潔凈室的三種占用狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài))之一。

潔凈室或潔凈區(qū)應(yīng)監(jiān)測或定期進(jìn)行性能測試，以認(rèn)證該潔凈室或潔凈區(qū)始終符合本規(guī)范的要求。
潔凈室或潔凈區(qū)性能測試認(rèn)證工作應(yīng)由檢測認(rèn)證單位承擔(dān),并提交檢測報告。
測試和認(rèn)證工作之前,系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運行。測試和監(jiān)測儀表應(yīng)在標(biāo)定證書有效使用期內(nèi)。