單晶硅長(zhǎng)生爐水冷膠管：是有高密度石棉布，橡膠層，天然，丁苯，三元乙丙橡膠組成，用于鋼廠，鑄造，電爐冷卻水的運(yùn)送。他是天然的纖維狀硅酸鹽礦物質(zhì)總稱石棉由纖維束組成。電爐膠管具有高耐火性，電絕緣性和絕熱性，電爐膠管具有耐高溫，耐火，耐點(diǎn)熱輻射，性能好，使用周期長(zhǎng)等特點(diǎn)

單晶硅長(zhǎng)生爐膠管提供一種用于單晶硅生長(zhǎng)爐的套環(huán)式水冷管,涉及單晶硅生長(zhǎng)爐技術(shù)領(lǐng)域,包括水冷管,第二水冷管和第三水冷管,所述水冷管包括冷卻段,出口和進(jìn)口;所述第二水冷管包括第二冷卻段,第二出口和第二進(jìn)口;所述第三水冷管包括第三冷卻段,第三出口和第三進(jìn)口;所述冷卻段,第二冷卻段和第三冷卻段均呈圓形結(jié)構(gòu).通過(guò)采用三條水冷管道,單晶硅長(zhǎng)生爐膠管實(shí)現(xiàn)單晶硅生長(zhǎng)爐底板上多個(gè)零器件的局部降溫,有效改善了底板上零器件的工作環(huán)境,進(jìn)而延長(zhǎng)了零器件的工作壽命,進(jìn)而降低生產(chǎn)成本.

單晶硅長(zhǎng)生爐實(shí)用新型提出一種水冷裝置及單晶硅生長(zhǎng)爐.本實(shí)用新型的水冷裝置用于單晶硅生長(zhǎng)爐,包括法蘭盤(pán),管道,內(nèi)導(dǎo)流筒,外導(dǎo)流筒和導(dǎo)流筒夾層.法蘭盤(pán),設(shè)于爐體頂部,爐蓋設(shè)于所述法蘭盤(pán)上,法蘭盤(pán)設(shè)有能與外界連通的進(jìn)水口和出水口.管道設(shè)于爐內(nèi)并沿豎直方向呈環(huán)狀,以形成供單晶硅棒伸入的水套,管道的一端與進(jìn)水口連通,另一端與出水口連通.內(nèi)導(dǎo)流筒設(shè)于水套外部,內(nèi)導(dǎo)流筒外部還設(shè)有外導(dǎo)流筒,內(nèi)導(dǎo)流筒與外導(dǎo)流筒形成導(dǎo)流筒夾層.使用本實(shí)用新型的水冷裝置,能提高單晶硅的生長(zhǎng)速度,提高產(chǎn)量.
主權(quán)項(xiàng)：1.一種水冷裝置，用于單晶硅生長(zhǎng)爐，所述單晶硅生長(zhǎng)爐包括爐蓋、爐體和單晶爐熱場(chǎng)，其特征在于，所述水冷裝置包括：法蘭盤(pán)，設(shè)于所述爐體頂部，所述爐蓋設(shè)于所述法蘭盤(pán)上，所述法蘭盤(pán)設(shè)有能與外界連通的進(jìn)水口和出水口；水套，設(shè)于所述爐內(nèi)并沿豎直方向呈筒形，以形成供單晶硅棒伸入，所述水套內(nèi)設(shè)有管道，所述管道的一端與所述進(jìn)水口連通，另一端與所述出水口連通；內(nèi)導(dǎo)流筒，設(shè)于所述水套外部，所述內(nèi)導(dǎo)流筒外部還設(shè)有外導(dǎo)流筒，所述內(nèi)導(dǎo)流筒架設(shè)于所述外導(dǎo)流筒，所述內(nèi)導(dǎo)流筒與所述外導(dǎo)流筒形成導(dǎo)流筒夾層。