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隨著鍍膜技術(shù)的快速增長,各種類型的真空鍍膜設(shè)備生產(chǎn)線也開始逐漸出現(xiàn)。但是論起薄膜的均勻性,恐怕所有的真空設(shè)備鍍制的薄膜的均勻性都會受到某種因素影響,現(xiàn)在我們就濺控濺射鍍膜機(jī)來看看造成不均勻的因素有哪些。
真空鍍膜設(shè)備生產(chǎn)線它的運(yùn)作原理其實(shí)很簡單。就是通過真空狀態(tài)下正交磁場使電子轟擊氬氣形成的氬離子再轟擊靶材,靶材離子沉積于工件表面成膜。如此車燈鍍膜機(jī)廠家就該考慮與膜層厚度的均勻性有關(guān)的有真空狀態(tài)、磁場、氬氣這三個方面。真空狀態(tài)就需要抽氣系統(tǒng)來控制的,每個抽氣口都要同時開動并力度一致,這樣就可以控制好抽氣的均勻性,如果抽氣不均勻,在真空室內(nèi)的壓強(qiáng)就不能均勻了,壓強(qiáng)對離子的運(yùn)動是存在一定的影響的。另外抽氣的時間也要控制,太短會造成真空度不夠,但太長又浪費(fèi)資源,不過有真空機(jī)的存在,要控制好還是不成問題的。
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PVD鍍膜涂層工藝中效果好的為離子鍍膜方式;此方法是利用電弧撞擊靶材,使靶材原子被激發(fā)出來,與反應(yīng)性氣體反應(yīng),形成化合物沉積于工件表面的一種技術(shù)。爐內(nèi)運(yùn)行至高真空后,通入惰性氣體,加偏壓造成氬離子(Ar+),及帶負(fù)電的電子(e-),帶正電的氬離子會撞向通入偏壓為負(fù)極的基板底材,來清潔工件表面;之后再通入反應(yīng)氣體,在靶材和基板底材間產(chǎn)生電漿,進(jìn)行鍍膜作業(yè)。此一方式成膜速度快、密著性較佳,多用于切削刀具鍍膜涂層處理。
真空鍍膜厚度屬于微米級,1μm 相當(dāng)于傳統(tǒng)電鍍一條的十分之一,因此經(jīng)過鍍膜作業(yè)以后,并不會影響工件的精度;傳統(tǒng)電鍍的批覆方式是以一種包覆的方式在外形成一層電鍍層,并無高度密著性可言。
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