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聚對(duì)二甲苯(Poly-p-xylene)，商品名帕里綸(Parylene)，是通過化學(xué)氣相沉積法制備的具有聚二甲撐苯撐結(jié)構(gòu)的聚合物薄膜的統(tǒng)稱，它有極其優(yōu)良的電性能、耐熱性、耐候性和化學(xué)穩(wěn)定性

在MEMS應(yīng)用中，聚對(duì)苯薄膜表現(xiàn)出一些非常有用的特性。這些特性包括：非常低的內(nèi)應(yīng)力、可以在室溫下淀積、保角涂覆、化學(xué)惰性以及刻蝕選擇性。聚對(duì)二甲苯膜用作電絕緣層、化學(xué)防護(hù)層、保護(hù)層和密封層是十分理想的。聚對(duì)二甲苯已用來做微流控溝道、閥門和傳感器(加速度傳感器，壓力傳感器，麥克風(fēng)和切應(yīng)力傳感器)。通常采用控制二聚物的量來調(diào)控聚對(duì)二甲苯覆蓋層的厚度。在原位探測(cè)聚對(duì)二甲苯厚度的器與末端探測(cè)器已經(jīng)研制出來。