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真空鍍膜工藝在傳感器方面的運(yùn)用在傳感器中,多選用那些電氣性質(zhì)相關(guān)于物理量、化學(xué)量及其變化來(lái)說(shuō),極為敏感的半導(dǎo)體資料。此外,其中大多數(shù)運(yùn)用的是半導(dǎo)體的外表、界面的性質(zhì),需求盡量增大其面積,且能工業(yè)化、低報(bào)價(jià)制造、因而選用薄膜的狀況許多。
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