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石墨舟是用于半導(dǎo)體制造的一種重要的工具。它由石墨材料制成，用于在各種工藝中承載和傳輸硅片。石墨舟的維護(hù)對(duì)于確保其正常運(yùn)行和延長(zhǎng)使用壽命至關(guān)重要。
使用須知
1、該箱安放在室內(nèi)干燥的地面和工作臺(tái)面處，二氧化碳培養(yǎng)箱不必使用其他固定裝置。
2、應(yīng)在供電線路中安裝閘刀或空氣開關(guān)一只，供此箱，并用比電源線截面積粗一倍之導(dǎo)線作接地線。
3、通電前，先檢查本箱的電氣性能，并應(yīng)注意是否有斷路或漏電現(xiàn)象。
4、待一切準(zhǔn)備就緒，可放入試品，關(guān)上箱門，干燥箱必要時(shí)可旋開排氣閥，空隙約10mm左右。
5、隔水式培養(yǎng)箱，恒溫水浴將蒸餾水或去離子水接至進(jìn)水口，加水至溢水口為止。
真空干燥箱的優(yōu)點(diǎn)包括：干燥速度快、；可降低樣品在高溫下變質(zhì)的可能性；可避免空氣中的氧氣對(duì)樣品產(chǎn)生氧化作用；可減少能源消耗，因?yàn)榭梢栽谳^低的溫度下實(shí)現(xiàn)干燥。然而，真空干燥箱也存在一些不足之處，例如：需要定期維護(hù)和保養(yǎng)；對(duì)樣品形狀和大小有一定限制；不能干燥所有類型的樣品。
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