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石墨舟烘箱與普通烘箱本質(zhì)的區(qū)別是防腐性能的不同。石墨舟酸洗浸泡6-8小時(shí)，之后進(jìn)行清水洗，然后用N2或CAD將石墨舟表面水分吹掃，再用石墨舟烘箱進(jìn)行烘干。所以可想而知石墨舟烘箱的耐腐蝕性能一定要強(qiáng)，否則很容易導(dǎo)至酸性液體滲透至箱體內(nèi)部，造成可挽回的損失。石墨舟烘箱在內(nèi)部材料選擇上也要特殊要求，選擇耐腐蝕性能好的不銹鋼板材，制作工藝上要求技術(shù)成熟，焊縫焊點(diǎn)做好拋光打磨處理。耐普通烘箱一般只要求溫度均勻，結(jié)構(gòu)優(yōu)良，智能操作，便于維修即可，對(duì)防腐性能的要求不是很高，所以普能烘箱在生產(chǎn)成本上要比石墨舟烘箱低很多。
石墨舟是用于半導(dǎo)體制造的一種重要的工具。它由石墨材料制成，用于在各種工藝中承載和傳輸硅片。石墨舟的維護(hù)對(duì)于確保其正常運(yùn)行和延長(zhǎng)使用壽命至關(guān)重要。
石墨舟是一種以石墨為基材的特種舟皿，具有耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好、強(qiáng)度高、導(dǎo)電性能等特點(diǎn)。近年來，隨著新材料技術(shù)的不斷發(fā)展，石墨舟在許多領(lǐng)域的應(yīng)用逐漸受到關(guān)注。
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