一般的電熱（鼓風(fēng)）無塵干燥箱均設(shè)有溫度均勻度參數(shù)：自然對(duì)流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強(qiáng)制對(duì)流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟電熱真空干燥箱不設(shè)溫度均勻度參數(shù)，這是為什么？真空干燥箱內(nèi)依靠氣體分子運(yùn)動(dòng)使工作室溫度達(dá)到均勻的可能性幾乎已經(jīng)沒有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風(fēng)）干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。在真空狀態(tài)下設(shè)這個(gè)指標(biāo)也是沒有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個(gè)物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現(xiàn)象與冬天曬太陽時(shí)，曬到太陽的一面很暖和，曬不到太陽的一面比較冷是一個(gè)道理。由于真空干燥箱在結(jié)構(gòu)上很難做到使工作室三維空間內(nèi)的各點(diǎn)輻射熱的均勻一致，同時(shí)也缺乏的評(píng)估方法，這有可能是電熱真空干燥箱標(biāo)準(zhǔn)中不設(shè)溫度均勻度參數(shù)的原因。

無塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進(jìn)行，否則易導(dǎo)致內(nèi)外壓強(qiáng)及溫度差，造成外部大氣沖入箱內(nèi)等突發(fā)狀況；2、升溫過程中，加熱指示燈長亮，達(dá)到設(shè)置溫度后，加熱自動(dòng)停止，同時(shí)指示燈熄滅。待溫度低于設(shè)置溫度時(shí)，加熱再次啟動(dòng)，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人。

按動(dòng)“加熱”開關(guān)（加熱器通電），無塵潔凈烤箱進(jìn)入正常工作，根據(jù)工藝要求設(shè)定溫度，當(dāng)臺(tái)車烘箱溫度上升接近設(shè)定值時(shí)，加熱器電源時(shí)通時(shí)斷，臺(tái)車烘箱進(jìn)入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結(jié)束后應(yīng)立即關(guān)閉電源開關(guān)，做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無塵潔凈烤箱正面上方設(shè)有一圓形進(jìn)氣口，調(diào)節(jié)進(jìn)氣口大小可調(diào)節(jié)烘箱的進(jìn)氣量，其進(jìn)氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據(jù)實(shí)際情況合理調(diào)節(jié)進(jìn)排氣量，一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動(dòng)或溫度較低時(shí)關(guān)閉進(jìn)氣門，以利無塵潔凈烤箱的溫度上升，當(dāng)無塵潔凈烤箱內(nèi)溫度較高時(shí)打開進(jìn)氣門，以利于水分排出。

無塵潔凈烤箱需要使用定時(shí)器時(shí)，先將定時(shí)時(shí)間值設(shè)定好，再將定時(shí)開關(guān)擰在“開”的位置即可，如果需要觀察臺(tái)車烘箱的濕度，請(qǐng)按下濕度表下面的紅色開關(guān)。受熱后易燃易爆的物料不能進(jìn)入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應(yīng)立即停機(jī)檢查，待維修正常后使用。無塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應(yīng)放置在具有良好通風(fēng)條件的室內(nèi)，在其周圍不可放置易燃易爆物品。

無塵烤箱的工作原理是通過利用熱沉降法來烤材料。當(dāng)烤箱內(nèi)部氣流流動(dòng)時(shí)，熱量會(huì)被沉降到接近材料表面，而表面溫度則會(huì)逐漸提高，從而完成烤制過程。在烤箱內(nèi)，熱量會(huì)被比較地混合和分散此熱量可以全面加熱材料的表面和內(nèi)部，使整個(gè)材料得到均勻的加熱同時(shí)，由于熱量的比較均勻的分布，可以明顯降低蒸發(fā)現(xiàn)象，從而大大減少煙塵的排放。