特點(diǎn)
1. 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；

2. 耐高溫，在工作場地潔凈等級達(dá)到class1000#前提下，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)能有效過濾微塵而達(dá)到潔凈等級class100#；

3. 疊成組合式，減少場地占用面積，。

無塵潔凈烘箱是一種新型可營造無氧的恒溫環(huán)境的電熱鼓風(fēng)干燥箱，在加溫工作的同時充入氮?dú)?，適用高溫易氧化產(chǎn)品烘烤，可滿足半導(dǎo)體電子、金屬、晶圓、油墨、醫(yī)療衛(wèi)生儀器、儀表，工廠，高等院校，科研部門等相關(guān)單位作生產(chǎn)烘實(shí)驗(yàn)的需要。該烘箱采用不銹鋼工作室(滿涅制造、覆套不銹鋼加熱器加熱，充入惰性氣體，因此干娛箱內(nèi)造成潔凈(可選裝耐高溫過濾器，達(dá)到潔凈無塵要求)和溫度均勻的微氧高溫環(huán)境(含氧濃度20-500PPM )，有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量，該箱外形美觀，使用方便控溫靈敏

無塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

檢查無塵潔凈烤箱是否符合生產(chǎn)要求，檢查臺車烘箱各緊固件是否松動，開機(jī)操作前檢查臺車烘箱是否有漏電現(xiàn)象，若漏電嚴(yán)禁操作使用，并及時查出原因。 加入待烘干物料，物料的厚度不得超過3cm，合上電源總開關(guān)，電源指示燈亮。 按下無塵潔凈烤箱啟動按鈕，風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)，溫控器通電。初次使用應(yīng)檢查風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)向，右側(cè)風(fēng)機(jī)從電機(jī)端看進(jìn)去應(yīng)為逆時針轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)向不符應(yīng)改變電源相序。

無塵潔凈烤箱內(nèi)物品放置切勿過擠，留出空間，以利熱空氣循環(huán)，無防爆裝置，不得放入易燃易爆物品干燥，使用安全，易耗品如密封圈、熱風(fēng)電機(jī)、加熱管、拉手等應(yīng)定期保養(yǎng)，清潔灰塵。要做好無塵潔凈烤箱的日常維護(hù)保養(yǎng)工作，使用、維護(hù)應(yīng)有專職人員進(jìn)行，保養(yǎng)時先切斷電源，安全。

一般精密烘箱的內(nèi)部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，為了達(dá)到內(nèi)部無塵的環(huán)境，需要在出風(fēng)口的位置增加高溫過濾裝置（又分為千級和百級過濾器）。烘箱內(nèi)的空氣通過回風(fēng)口后，一部分經(jīng)過排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過循環(huán)通道再次加熱，后通過過濾器后回到工作室。除了過濾空氣外，另外要盡量避免工作過程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。