一，超純水的定義
　　DI=去離子水，DI water=去離子水，也稱為純水（PURE WATER），意味著去離子，并且由于近對半導(dǎo)體工藝設(shè)計規(guī)則的要求，這種趨勢更加和小巧。根據(jù)這些嚴(yán)格的水質(zhì)要求，這被稱為超純水。
　　二，18MΩcm超純水的制造工藝
　　自來水進(jìn)入原水罐，由原水泵加壓，經(jīng)過砂濾器，碳過濾器，阻垢劑分配器和安全過濾器，到達(dá)反滲透裝置，并通過15MΩ·cm的兩步反滲透過濾進(jìn)入EDI裝置達(dá)到電阻率（在純水箱中為25°C）。設(shè)計純凈水循環(huán)，由純水泵加壓，并通過紫外線消毒器，研磨混合床Tulsimer MB 106 UP和0.22微米過濾器連接到純水管。
　　2.1預(yù)處理單元
　　石英砂過濾，活性炭過濾和安全過濾被用作兩步反滲透預(yù)處理。
　　2.2反滲透模塊單元
　　整個反滲透系統(tǒng)由高壓泵，反滲透膜，壓力容器和相應(yīng)的設(shè)備，儀表，閥門，機(jī)架，管道和配件組成，并帶有立的化學(xué)清洗裝置。
　　2.3 EDI模塊單元
　　EDI系統(tǒng)由增壓泵，膜堆，電源及其儀器，儀表，閥門，機(jī)架，管道等組成。
　　2.4光澤混合床模塊單元
　　超純水末端混合床樹脂是在非常嚴(yán)格的工藝控制條件下生產(chǎn)的，并且經(jīng)過對該樹脂的特殊處理，再生轉(zhuǎn)化率達(dá)到了極限，因此再生效率非常高，雜質(zhì)含量非常低。交換能力強，機(jī)械強度高。高純度水末端混合層樹脂可廣泛用于電北京子行業(yè)，以生產(chǎn)高純度水而無需再生。實驗室高純水；高純水，用于液相色譜；放射治療；約束；半導(dǎo)體行業(yè)；冷凝水凈化和其他各種水處理工藝。碼頭混合床精細(xì)加工。混合層樹脂穩(wěn)定地保持了廢水的水質(zhì)，產(chǎn)水質(zhì)量為16-18.2MΩ，生產(chǎn)的純凈水不含高純硅。
　　2.5供水
　　純水供應(yīng)周期采用254nm紫外線殺菌，拋光層淡化和0.22微米過濾，可滿足您的純水質(zhì)量要求。
　　應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路，顯示器，硬盤，CDROM和其他水的生產(chǎn)。經(jīng)過充分的水處理和合理的混合層設(shè)計，北京科海思供應(yīng)的拋光樹脂Tulsimer?MB 106 UP的出水性能18.25MΩ在產(chǎn)品性能上與陶氏拋光樹脂UP6040項目，另外北京科海思進(jìn)口拋光樹脂MB-115UP與陶氏拋光樹脂UP6150相同

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