特點
1. 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

2. 耐高溫，在工作場地潔凈等級達到class1000#前提下，實驗室內能有效過濾微塵而達到潔凈等級class100#；

3. 疊成組合式，減少場地占用面積，。

無塵潔凈烘箱的操作要求:
1.氮氣口:操作前應將氮氣接通本機之氮氣口，特別注意在接通前先將N2壓力調節(jié)至適合的流量值。
2.將烘烤物置入箱內后須將門面關閉，門扣確實扣緊后，門面安全開關有作用，機臺才能順利啟動。
3.無塵潔凈烘箱后方之冷卻排風口，請接至排氣系統(tǒng)冷卻時有高溫，接管須加保溫隔熱以防操作人員燙傷或影響工作環(huán)境。
在開始工作前的話要確認電氣是否正常，將檢測物品正確放置箱內，開啟電源開關并調整溫控儀表、適當?shù)臏囟扰c加熱恒溫時間，并目操作人員要專心操作并配戴防護器具:并不得離開加工區(qū)

無塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規(guī)程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區(qū)的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對烘箱內溫度實時多點顯示及自動記錄。C出風口裝有耐高溫空氣過濾器，每次運風循環(huán)均充分過濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對內部的二次污染.D.裝有過濾器，電熱烘箱內部循環(huán)熱風經(jīng)高溫空氣過濾器反復過濾，了進入無塵空間的熱風達到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統(tǒng)及運風系統(tǒng)，了各潔凈區(qū)之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護)，防止被烘烤產(chǎn)品的氧化

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進行，否則易導致內外壓強及溫度差，造成外部大氣沖入箱內等突發(fā)狀況；2、升溫過程中，加熱指示燈長亮，達到設置溫度后，加熱自動停止，同時指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時，加熱再次啟動，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時關閉電源并聯(lián)系儀器負責人。

無塵潔凈烤箱內外應經(jīng)常保持清潔，長期不用應罩好塑料防塵罩，放在干燥的室內，高溫狀態(tài)下禁止打開箱門，加熱過程中務必風機是正常運轉，嚴禁安裝在潮濕的環(huán)境下運行，操作人員熟悉無塵潔凈烤箱的結構、性能、工作原理及調整方法，操作方法及保養(yǎng)知識。