設備包括：

電子槍，產生電子束，
工作腔，大部分被抽成“低”或“高”真空，
工件機械手（定位機構），
電源以及控制和監(jiān)視電子設備。

在電子槍中，自由電子是從熱金屬帶（或金屬絲）通過熱發(fā)射獲得的。然后通過三個電極產生的電場將它們加速并形成狹窄的會聚束：電子發(fā)射帶，連接到高壓（加速）電源（30-200 kV）負極和正極的陰極。高壓電極、陽極。第三個電極相對于陰極帶負電，稱為Wehnelt電極或控制電極。它的負電位控制發(fā)射的電子進入加速場的部分，即電子束電流。

為了使電子槍正常工作，相對于加速電子透鏡和磁聚焦透鏡的光軸地調整電子束。這可以通過在聚焦透鏡之前施加一些特定的徑向方向的磁場和垂直于光軸的強度來完成。這通常是通過一個簡單的校正系統(tǒng)來實現的，該校正系統(tǒng)由兩對線圈組成。通過調節(jié)這些線圈中的電流，可以產生任何所需的校正場。

通過聚焦透鏡后，光束可以直接或通過偏轉系統(tǒng)偏轉后用于焊接。它由兩對線圈組成，每個X和Y方向一個。這些可以用于“靜態(tài)”或“動態(tài)”偏轉。靜態(tài)偏轉對于通過焊接定位梁很有用。動態(tài)偏轉是通過向偏轉線圈提供可由計算機控制的電流來實現的。這為電子束應用開辟了新的可能性，例如表面硬化或退火，的電子束定位等。

快速偏轉系統(tǒng)也可以用于成像和雕刻（如果配備了適當的電子設備）。在這種情況下，設備像掃描電子顯微鏡一樣操作，分辨率約為0.1毫米（受光束直徑限制）。在類似的模式下，由計算機控制的細光束可以通過熔化薄的表面層在金屬表面“寫”或“畫”圖片。

電子束焊機加工是在真空條件下，利用電流加熱陰極發(fā)射電子束，帶負電荷的電子束高速飛向陽極，途中經加快極加快，并經過電磁透鏡聚集，使能量密度十分會集，可以把一千瓦或更高的功率會集到直徑為5～10μm的斑駁上，獲得高達109W/cm2左右的功率密度。如此高的功率密度，可使任何材料被沖擊部分的溫度，在百萬分之一秒時間內升高到攝氏幾千度以上，熱量還來不及向周圍擴散，就已把局部材料瞬時熔化、氣化直到蒸騰去除。隨著孔不斷變深，電子束焊機照耀點亦越深入。由于孔的內側壁對電子束發(fā)生"壁聚集"，所以加工點或許到達很深的深度，從而可打出很細很深的微孔。

電子束焊是熔化焊的一種，它運用集聚的高速電子束炮擊工件接縫，發(fā)生熱能從而使金屬熔合。真空電子束焊機提示它包含了機械、真空、高電壓和電磁場理論、電子光學、自動控制和計算機等多學科技術。這也是干式螺桿真空泵廠家要講的，真空體系中常用焊接辦法的第三種。

電子束焊按被焊工件所在環(huán)境的真空度可分為三種：高真空電子束焊，低真空電子束焊和非真空電子束焊：
高真空電子束焊在10-4～10-1Pa的壓強下進行。真空條件，可以對熔池的“維護”防止金屬元素的氧化和燒損，適用于活性金屬、難熔金屬和質量要求高的工件的焊接。
低真空電子束焊在10-1～10Pa的壓強下進行，也具有束流密度和功率密度高的特征。由于只需抽到低真空，縮短了抽真空時間，提高了出產率，適用于批量大的零件的焊接和在出產線上運用。

電子束焊機與核工業(yè)的展開息息相關。因為核輻射的防護，對核容器質量提出了的要求，一些大厚度結構選用傳統(tǒng)焊接或激光焊接方法無法完結的接頭，核工業(yè)中選用的一些難熔高溫材料，選用傳統(tǒng)焊接或激光焊接方法很難完結聯接，而電子束焊機能夠很好地完結其聯接。往后幾十年中，我國的核能裝備將以幾何級數增加，電子束焊接作為一種的聯接技術，必將在其中發(fā)揮重要作用。