真空工作室可以具有任何期望的體積，從幾升到幾百立方米。它們可以配備電子槍，以提供任何所需的功率高達100 kW的電子束，如果需要，甚至更高。在微電子束裝置中，尺寸可以到十分之一毫米的部件可以被焊接。在具有足夠高功率電子束的焊機中，可以實現(xiàn)300 mm深的焊接。還有一些焊接機，其中電子束從真空中帶到大氣中。使用這種設(shè)備，無需的工作室即可焊接非常大的物體。

即使沒有在真空中實現(xiàn)，電子束焊接也永遠不能“手動”進行，因為始終會產(chǎn)生強烈的X射線。梁和工件的相對運動通常是通過工件的旋轉(zhuǎn)或線性移動來實現(xiàn)的。在某些情況下，可通過計算機控制的偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)移動光束來實現(xiàn)焊接。工件機械手大多是單設(shè)計的，可以滿足焊接設(shè)備的特定要求。

電子束焊機加工是在真空條件下，利用電流加熱陰極發(fā)射電子束，帶負電荷的電子束高速飛向陽極，途中經(jīng)加快極加快，并經(jīng)過電磁透鏡聚集，使能量密度十分會集，可以把一千瓦或更高的功率會集到直徑為5～10μm的斑駁上，獲得高達109W/cm2左右的功率密度。如此高的功率密度，可使任何材料被沖擊部分的溫度，在百萬分之一秒時間內(nèi)升高到攝氏幾千度以上，熱量還來不及向周圍擴散，就已把局部材料瞬時熔化、氣化直到蒸騰去除。隨著孔不斷變深，電子束焊機照耀點亦越深入。由于孔的內(nèi)側(cè)壁對電子束發(fā)生"壁聚集"，所以加工點或許到達很深的深度，從而可打出很細很深的微孔。

電子束焊機加工具有以下的特色：
1）能量密度高電子束聚集點范圍小，能量密度高，適合于加工精微深孔和窄縫等。且加工速度快，。
2）工件變形小電子束加工是一種熱加工，主要靠瞬時蒸騰，工件很少發(fā)生應(yīng)力和變形，并且不存在工具損耗。適合于加工脆性、耐性、導體、半導體、非導體以及熱敏性材料。
3）加工點上化學純度高 由于整個電子束加工是在真空度1.33×10－2～1.33×10－4 Pa的真空室內(nèi)進行的，所以熔化時可以防止由于空氣的氧化作用所發(fā)生的雜質(zhì)缺點。適合于加工易氧化的金屬及合金材料，特別是要求純度高的半導體材料。
4）電子束焊機可控性好 電子束的強度和方位均可由電、磁的方法直接控制，便于實現(xiàn)自動化加工。

電子束焊機與核工業(yè)的展開息息相關(guān)。因為核輻射的防護，對核容器質(zhì)量提出了的要求，一些大厚度結(jié)構(gòu)選用傳統(tǒng)焊接或激光焊接方法無法完結(jié)的接頭，核工業(yè)中選用的一些難熔高溫材料，選用傳統(tǒng)焊接或激光焊接方法很難完結(jié)聯(lián)接，而電子束焊機能夠很好地完結(jié)其聯(lián)接。往后幾十年中，我國的核能裝備將以幾何級數(shù)增加，電子束焊接作為一種的聯(lián)接技術(shù)，必將在其中發(fā)揮重要作用。

20 世紀 60 年代初，電子束焊機逐漸運用于飛機制造業(yè)和宇航工業(yè)中名貴金屬的焊接。跟著現(xiàn)代航空和宇航等技術(shù)的運用而敏捷展開起來，成功地處理了為現(xiàn)代產(chǎn)品而展開的各種新式材料的焊接問題。電子束焊接并且在汽車工業(yè)、船舶工業(yè)和機械制造業(yè)等領(lǐng)域運用也日益廣泛。