氧化鋁拋光液是一種以多晶氧化鋁為主，氧化鋁顆粒大小均勻，相比氧化硅拋光液加工效率提高約3-4倍，成本節(jié)約30-50%，加工流程縮短，且不會(huì)在工件表面上形成硅元素結(jié)晶，減少清洗成本。

納米氧化鋁透明液體XZ-LY101體顏色無(wú)色透明色固含量的20%-25%。該納米氧化鋁透明分散液中使用的是5-10納米的氧化鋁，該5-10納米的氧化鋁是經(jīng)過(guò)原來(lái)粒徑稍大的納米氧化鋁經(jīng)過(guò)層層深加工篩選出來(lái)的氧化鋁，具有明顯納米藍(lán)相，添加到各種丙烯酸樹(shù)脂，聚氨酯樹(shù)脂，環(huán)氧樹(shù)脂，三聚氰胺樹(shù)脂，硅丙乳液等樹(shù)脂的水性液體中，添加量為5%到10%，可以明顯提高樹(shù)脂的硬度，硬度可達(dá)6-8H甚至更高。完全透明，該納米氧化鋁液體可以是水性的或者油性的任何溶劑，由于其納米粒徑相當(dāng)細(xì)小，固無(wú)論是何種溶劑皆是透明的，同時(shí)可以做各種玻璃涂層材料，寶石，精密儀器材料等。

目前市場(chǎng)上使用為廣泛的幾種磨料是SiO2、CeO2、Al2O3。其中Al2O3憑借其硬度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于藍(lán)寶石、碳化硅等材料的CMP技術(shù)中。Al2O3具有10余種晶型，其中常見(jiàn)的為α、β、γ等，一般選用50～200nm粒徑分布均勻的α-Al2O3作為拋光磨粒。

納米氧化鋁拋光液具有移除速率高、懸浮分散性能好、對(duì)碳化硅晶圓表面無(wú)損傷、且表面粗糙度值極低、循環(huán)使用壽命長(zhǎng)、易清洗、通用性好等特點(diǎn)，適用于半導(dǎo)體碳化硅晶圓的CMP拋光。

使用與用量：
推薦用量為1～20％，使用者應(yīng)根據(jù)不同體系經(jīng)過(guò)試驗(yàn)決定佳添加量。
◆ 以防少許沉淀，建議使用前先搖勻。
◆ 使用時(shí)，以不同濃度并據(jù)不同行業(yè)的需要可用過(guò)濾清潔水加以稀釋?zhuān){(diào)制不同濃度。

當(dāng)我們使用了這種拋光液之后，它可以通過(guò)純粹的機(jī)械拋光快速地去除材料，達(dá)到不錯(cuò)的表面處理效果。而如果選用其它種類(lèi)的拋光液，比如具有弱堿性的硅膠拋光液，那就要通過(guò)化學(xué)/機(jī)械的拋光方法與材料表面形成反應(yīng)層。雖然柔軟的硅膠去除反應(yīng)層也可以得到一個(gè)的表面，但是在工藝上無(wú)疑麻煩了許多。使用氧化鋁拋光液可以算是一次性?huà)伖獬尚偷摹Ｋ源蠹以诖蟛糠值那闆r下，比如我們?cè)谧鼋鹣鄷r(shí)，往往都是使用這種可以通過(guò)純粹機(jī)械拋光的拋光液。