- 信息報價
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面議晶圓升降機構隸屬于晶圓自動傳輸系統(tǒng),主要承擔著與晶圓裝卸機械手配合完成晶圓在加工工件臺與預對準設備、晶圓盒之間交接的工作。大尺寸的晶圓重量增加,更易變形破損,Z 軸方向上的定位(重..02月28日
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晶圓升降機構隸屬于晶圓自動傳輸系統(tǒng),主要承擔著與晶圓裝卸機械手配合完成晶圓在加工工件臺與預對準設備、晶圓盒之間交接的工作。大尺寸的晶圓重量增加,更易變形破損,Z 軸方向上的定位(重..02月28日
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晶圓升降機構隸屬于晶圓自動傳輸系統(tǒng),主要承擔著與晶圓裝卸機械手配合完成晶圓在加工工件臺與預對準設備、晶圓盒之間交接的工作。大尺寸的晶圓重量增加,更易變形破損,Z 軸方向上的定位(重..02月28日
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晶圓中200mm 階段,采用晶圓輸送機代替人手操作,排除人為帶入的環(huán)境污染。隨著IC 制造工藝的發(fā)展和對環(huán)境潔凈度要求的提高,國外機器人研究機構在上世紀 80 年代開展了晶圓自動傳輸系統(tǒng)各部..02月28日
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晶圓中200mm 階段,采用晶圓輸送機代替人手操作,排除人為帶入的環(huán)境污染。隨著IC 制造工藝的發(fā)展和對環(huán)境潔凈度要求的提高,國外機器人研究機構在上世紀 80 年代開展了晶圓自動傳輸系統(tǒng)各部..02月28日
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面議IC 制造過程各種工藝前都需要進行晶圓的傳輸、定位和姿態(tài)調整。晶圓升降機構就是品圓自動傳輸系統(tǒng)重要組成部分之一。其速度、重復定位精度將直接或間接影響 IC 的生產效率和制造質量。研究、..02月28日
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面議晶圓升降機構隸屬于晶圓自動傳輸系統(tǒng),主要承擔著與晶圓裝卸機械手配合完成晶圓在加工工件臺與預對準設備、晶圓盒之間交接的工作。大尺寸的晶圓重量增加,更易變形破損,Z 軸方向上的定位(重..02月28日
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升降機構運動部件是整個機構的核心部件,精確完成升降運動是傳輸系統(tǒng)對機構的核心要求。通過的檢測裝置測量運動部件的位置,反映其運動速度、時間以及重要的定位情況。升降機構的定位精度直接..02月28日
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位移是物體在運動過程中位置變化,它與移動量有關。小位移通常用應變式、渦流式、差動變壓器式、電感式、霍爾傳感器來檢測,大位移常用感應同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術來測量。本文采..02月28日
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晶圓升降機構隸屬于晶圓自動傳輸系統(tǒng),主要承擔著與晶圓裝卸機械手配合完成晶圓在加工工件臺與預對準設備、晶圓盒之間交接的工作。大尺寸的晶圓重量增加,更易變形破損,Z 軸方向上的定位(重..02月28日
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IC 制造過程各種工藝前都需要進行晶圓的傳輸、定位和姿態(tài)調整。晶圓升降機構就是品圓自動傳輸系統(tǒng)重要組成部分之一。其速度、重復定位精度將直接或間接影響 IC 的生產效率和制造質量。研究、..02月28日
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晶圓中200mm 階段,采用晶圓輸送機代替人手操作,排除人為帶入的環(huán)境污染。隨著IC 制造工藝的發(fā)展和對環(huán)境潔凈度要求的提高,國外機器人研究機構在上世紀 80 年代開展了晶圓自動傳輸系統(tǒng)各部..02月28日
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IC 制造過程各種工藝前都需要進行晶圓的傳輸、定位和姿態(tài)調整。晶圓升降機構就是品圓自動傳輸系統(tǒng)重要組成部分之一。其速度、重復定位精度將直接或間接影響 IC 的生產效率和制造質量。研究、..02月28日
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面議晶圓升降機構隸屬于晶圓自動傳輸系統(tǒng),主要承擔著與晶圓裝卸機械手配合完成晶圓在加工工件臺與預對準設備、晶圓盒之間交接的工作。大尺寸的晶圓重量增加,更易變形破損,Z 軸方向上的定位(重..02月28日
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升降機構運動部件是整個機構的核心部件,精確完成升降運動是傳輸系統(tǒng)對機構的核心要求。通過的檢測裝置測量運動部件的位置,反映其運動速度、時間以及重要的定位情況。升降機構的定位精度直接..02月28日
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晶圓升降機構隸屬于晶圓自動傳輸系統(tǒng),主要承擔著與晶圓裝卸機械手配合完成晶圓在加工工件臺與預對準設備、晶圓盒之間交接的工作。大尺寸的晶圓重量增加,更易變形破損,Z 軸方向上的定位(重..02月28日
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面議晶圓上表面有定位用的標識,晶圓在預對準階段確定好了與傳輸機械手的相對位置,經過升降機構到達工件臺吸盤上,為了檢測標識位需要其與吸盤相對位置是固定的。因此要求升降機構在圓周方向上不..02月28日
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晶圓升降機構隸屬于晶圓自動傳輸系統(tǒng),主要承擔著與晶圓裝卸機械手配合完成晶圓在加工工件臺與預對準設備、晶圓盒之間交接的工作。大尺寸的晶圓重量增加,更易變形破損,Z 軸方向上的定位(重..02月28日
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面議IC 制造過程各種工藝前都需要進行晶圓的傳輸、定位和姿態(tài)調整。晶圓升降機構就是品圓自動傳輸系統(tǒng)重要組成部分之一。其速度、重復定位精度將直接或間接影響 IC 的生產效率和制造質量。研究、..02月28日
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近年來,國內晶圓升降機構的發(fā)展也很迅速。一些較早投入應用的晶圓傳輸機構。前端支持品圓機械手爪隨滑塊在導軌內上下運動,由直流電機驅動,該機構升降行程較小、精度低,速度慢,缺少晶圓保..02月28日
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