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蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。?
對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內(nèi),也就是說對于薄膜的光學(xué)特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。?
濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld,組分均勻性容易保持,而原子尺度的厚度均勻性相對較差(因為是脈沖濺射),晶向(外沿)生長的控制也比較一般。
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在簡易隔離式偏壓電源設(shè)計中,非對稱半橋反激電路是關(guān)鍵。它通過同步降壓電路提供隔離電源,類似于同步降壓調(diào)節(jié)器的工作原理。輸入電壓驅(qū)動的場效應(yīng)管(FET)驅(qū)動電感電容濾波器,隨后通過分壓器和誤差放大器的協(xié)同作用,調(diào)整濾波器輸出,保持DC電壓穩(wěn)定。特別之處在于,電感電路中的耦合繞組和二極管設(shè)計巧妙地解決了負(fù)載電壓調(diào)節(jié)的難題,通過二極管的直流電壓調(diào)整,提升了負(fù)載調(diào)節(jié)的精度。如果采用場效應(yīng)管替代,性能將進(jìn)一步提升。
總結(jié)起來,真空多弧離子鍍膜機(jī)的偏壓電源是一個精密調(diào)控的系統(tǒng),它通過復(fù)雜的電路設(shè)計,確保了離子的加速和沉積過程,從而實(shí)現(xiàn)的涂層工藝。無論是直流還是脈沖電源,每一環(huán)節(jié)都對終的鍍膜效果有著至關(guān)重要的影響。
真空鍍膜加工中冷卻設(shè)備需要提供智能、穩(wěn)定的冷凍水,來確保真空鍍膜工藝中電鍍液的溫度恒定,所以會選擇使用水冷式冷水機(jī)來作為真空鍍膜加工冷卻設(shè)備。
一 真空鍍膜加工中冷卻設(shè)備冷水機(jī)的作用
真空鍍膜加工過程中,真空鍍膜機(jī)作為主要設(shè)備,工作過程中有高頻電流過程,電導(dǎo)會在反復(fù)過程中產(chǎn)生大量熱能并且集聚在一起,需要冷卻設(shè)備及時地進(jìn)行冷卻,避免設(shè)備部件損壞,影響使用壽命;另外,真空鍍膜電鍍液需要根據(jù)電鍍產(chǎn)品不同進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),并保持相對恒溫,反復(fù)鍍膜會造成鍍液溫度升高,同樣需要冷卻設(shè)備來準(zhǔn)確地控制和穩(wěn)定電鍍液的溫度。在工業(yè)生產(chǎn)控溫中,根據(jù)真空鍍膜加工的實(shí)際需求,選用相應(yīng)規(guī)格的冷水機(jī)設(shè)備來進(jìn)行、穩(wěn)定的溫度控制調(diào)節(jié)是經(jīng)濟(jì)有效的解決方案。
利摘要顯示,本申請關(guān)于一種真空鍍膜自動加料裝置,涉及真空鍍膜領(lǐng)域。該真空鍍膜自動加料裝置包括支架,支架上安裝有滑動機(jī)構(gòu),滑動機(jī)構(gòu)上安裝有驅(qū)動機(jī)構(gòu)以及加料機(jī)構(gòu),驅(qū)動機(jī)構(gòu)的動力輸出端與加料機(jī)構(gòu)傳動連接;加料機(jī)構(gòu)的上方還安裝有儲料罐,儲料罐將粉料輸送至加料機(jī)構(gòu)內(nèi),加料機(jī)構(gòu)與外部管式爐的進(jìn)料口接駁;其中,儲料罐上還安裝有攪拌機(jī)構(gòu),攪拌機(jī)構(gòu)將儲料罐內(nèi)的粉料均勻的輸送至加料機(jī)構(gòu)內(nèi)。實(shí)現(xiàn)了在CVD過程中,粉末狀態(tài)的蒸發(fā)材料(如派瑞林)少量、連續(xù)進(jìn)入管式爐以進(jìn)行后續(xù)的加熱、升華、裂解工藝,既滿足了蒸發(fā)材料的用量,又達(dá)到了實(shí)時動態(tài)調(diào)整進(jìn)料量的目的,提升了鍍膜效果,并實(shí)現(xiàn)了一種以上的蒸發(fā)材料復(fù)合鍍膜的工藝需求。
1)所需設(shè)備:CCZK-1850SFL連續(xù)式磁控鍍膜流水線
2) 獲得膜層:一層或多層金屬,合金或金屬化合物膜層
3)涂裝流程: 玻璃產(chǎn)品的前處理清洗過程---進(jìn)片上線臺---粗抽室---過渡室---精抽室---緩沖室---鍍膜室---后緩沖---精抽室---過渡室---粗抽室---出片下線臺---淋漆流水線(如果需要)---包裝成品
4)基本配置:
1.腔體結(jié)構(gòu):采用的臥式連續(xù)磁控鍍膜流水線,配備前后粗抽室,前后過渡室,前后精抽室,前后緩沖室,彩鍍室。
2.腔體材質(zhì):碳鋼
3.靶材設(shè)計:采用新型旋極靶材以及平面陰極靶材。
4.電源配置:配備大功率中頻或直流磁控濺射電源
5.電氣控制:生產(chǎn)線采用PLC全過程控制,配備工業(yè)計算機(jī)人機(jī)交互系統(tǒng),快速的節(jié)拍設(shè)計。
6.人機(jī)對話:控制系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)人、機(jī)對話,及時對生產(chǎn)過程進(jìn)行必要干預(yù)。運(yùn)行過程有報警提示和故障顯示,故障顯示能提示操作人員正確的操作和排故。
7.傳動系統(tǒng):滾軸傳動,變頻可調(diào)
8.可鍍膜玻璃或平板,尺寸可定制
9. 生產(chǎn)線安采用了的插板閥進(jìn)行腔室隔斷,可以實(shí)現(xiàn)有效隔斷,穩(wěn)定工藝氣體。
10.生產(chǎn)線采用了均勻進(jìn)氣管結(jié)構(gòu)設(shè)計,氣流注入均勻平緩;
11.泵抽系統(tǒng):擴(kuò)散泵組或分子泵組+機(jī)械泵+羅茨泵
5)需求配套設(shè)施:
懸浮式高真空卷繞式鍍膜機(jī)的卷繞控制要求的轉(zhuǎn)矩控制,以般采用直流驅(qū)動,但是隨著交流驅(qū)動技術(shù)的飛速發(fā)展,現(xiàn)在逐步采用交流永磁同步伺服電機(jī)或交流異步電機(jī)驅(qū)動。丹佛斯FC302系列驅(qū)動器具有伺服級的驅(qū)動性能,驅(qū)動交流異步電機(jī)也有實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)的轉(zhuǎn)矩控制,為這個行業(yè)提供了一種易用的解決方案,用戶只需要設(shè)置幾個簡單的參數(shù),就能滿足實(shí)際生產(chǎn)需求,操作和調(diào)試也非常簡便。
一、懸浮式高真空卷繞式鍍膜機(jī)的傳動結(jié)構(gòu):
放卷轉(zhuǎn)向為正
放卷轉(zhuǎn)向為負(fù)
3驅(qū)動懸浮式高真空卷繞式鍍膜機(jī)的典型傳動結(jié)構(gòu),其中:
M1為冷卻輥,直徑恒定,由一臺FC302驅(qū)動,冷輥的速度即為鍍膜的線速度。
M2為收卷輥,中心卷繞,直徑逐步變大,由一臺FC302驅(qū)動,提供收卷張力。
M3為放卷輥,中心卷繞,直徑逐步變小,由一臺FC302驅(qū)動,提供放卷張力。
冷卻輥和收卷輥的轉(zhuǎn)向是固定的,但是放卷輥由于卷筒卷繞方向不同,工作時有正、反兩種轉(zhuǎn)向,對應(yīng)反、正兩種轉(zhuǎn)矩。
真空鍍膜機(jī)傳動系統(tǒng)的特點(diǎn):
1.由于真空室狹小,無法安裝張力檢測裝置,所以收、放卷張力完全要靠收、放卷驅(qū)動的電機(jī)直接控制。因此收、放卷驅(qū)動器都工作于轉(zhuǎn)矩工作模式。對于較輕較薄的材料,收卷還有張力錐度功能。
2.由于工藝方面的原因,起主傳動作用的冷卻輥上沒有壓輥,因此冷卻輥只能靠摩擦力帶動薄膜;收、放卷張力相差較大時,薄膜很容易在冷卻輥上打滑。如何防止打滑是驅(qū)動控制方面的難題。
所屬分類:設(shè)備回收/工廠設(shè)備回收
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