日常清掃無法涉及的表面，需要進(jìn)行定期清掃。清掃中注意不要污染產(chǎn)品。大多數(shù)表面按周清掃，清掃時(shí)，產(chǎn)品要有覆蓋保護(hù)并移出清掃區(qū)域。 潔凈度沒什么要求的表面，可以按月或是更長(zhǎng)間隔時(shí)間清掃。雖然長(zhǎng)時(shí)間才清掃一次，但是清掃流程安排表中也要有記錄。無塵室內(nèi)從上到下全體設(shè)施要有完全清掃的清掃流程安排表。完全清掃包含保管區(qū)域、服務(wù)區(qū)域、配管區(qū)及備用品類。完全清掃多在停止生產(chǎn)時(shí)，周末，假日或者其他沒有生產(chǎn)的情況下進(jìn)行。在連續(xù)生產(chǎn)有少有假期時(shí)，完全清掃是很困難的事情，因此，要在有限的假期內(nèi)集中清掃。


機(jī)械設(shè)備有很多供輸管道、電線和連接部位，清掃時(shí)要注意檢查管道和電線的破損情況，斷開電源之后再進(jìn)行清掃，防止危險(xiǎn)的發(fā)生。機(jī)械設(shè)備有很多與產(chǎn)品直接接觸的接觸面，好進(jìn)行等級(jí)劃分，根據(jù)潔凈度等級(jí)要求選擇合適的清掃方式，并對(duì)不同等級(jí)區(qū)域進(jìn)行標(biāo)示，方便清掃正確進(jìn)行。
a)設(shè)備的外表面跟無塵室內(nèi)的潔凈度是一致的。同墻壁、水平面、垂直面一起按照合適的順序清掃。
b)設(shè)備的內(nèi)表面分為設(shè)備內(nèi)壁和內(nèi)部設(shè)備接觸面。內(nèi)壁將重要的產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)域隔離開，內(nèi)壁的清掃應(yīng)該在內(nèi)部設(shè)備接觸面清潔之后再進(jìn)行清潔。內(nèi)部設(shè)備接觸面的清掃除了要清潔之外還要定期保養(yǎng)維護(hù)。
c)與產(chǎn)品接觸的接觸面是離產(chǎn)品近的地方，因此有產(chǎn)品在時(shí)不可按照清掃順序及流程進(jìn)行，需根據(jù)潔凈度要求進(jìn)行，并以文件方式規(guī)定。


清掃人員需要進(jìn)行必要的培訓(xùn)。各工站有的人員進(jìn)行清掃。的人員，經(jīng)過培訓(xùn)之后負(fù)責(zé)清掃工作也是很普遍的事情。
制定清掃流程
制定清掃流程是要先將各種無塵室的接觸面進(jìn)行等級(jí)分類，并了解不同表面的污染速度。清掃流程根據(jù)無塵室要求的潔凈度制定合適的清掃頻率。對(duì)表面污染進(jìn)行試驗(yàn)和評(píng)估之后，做成流程手冊(cè)。對(duì)無塵室內(nèi)的制造工程、產(chǎn)品要求事項(xiàng)、清掃頻率（每日一次/每周一次或其他頻率）等進(jìn)行相關(guān)規(guī)定。

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