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單晶爐簡介編輯/單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。購買技術主要要求1.單晶爐裝料量(單臺機產能多少) 2. 能拉多長、幾寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品質(少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯密度) 5設備制造工藝控制保 6自動化控制程度 7設備主要關鍵部件的配置等 。
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特點編輯HD系列硅單晶爐的爐室采用3節(jié)設計。上筒和上蓋可以上升并向兩邊轉動,便于裝料和維護等。爐筒升降支撐采用雙立柱設計,提高穩(wěn)定性。支撐柱安裝在爐體支撐平臺的上面,便于平臺下面設備的維護。爐筒升降采用絲杠提升技術,簡便干凈。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,主要產品 七大類:電阻爐、感應爐、真空爐、電子束爐、熱處理(或熔煉)機組、熱處理輔助設備、燃燒爐三. 電阻爐:三大部件:加熱器、爐襯、耐構件 1. 分為周期式及連續(xù)式兩大類 2. 周期式爐的特征: A. 爐料同時加入同時取出 B. 加熱時爐料基本不動(特殊情況除外:如滾筒爐,輥底爐) C. 工作區(qū)內力求溫度均勻3. 周期式電阻爐的分類 A. 箱式爐 B. 臺車爐(分為自行式和牽引式),用作退火之用,加熱后工件隨爐冷卻 C. 井式爐
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