掃描電鏡（Scanning Electron Microscopy，SEM）是一種高分辨率的電子顯微鏡技術(shù)，可用于對形貌和表面特征進行分析和觀察。相比于傳統(tǒng)的透射電鏡，SEM不需要樣本薄片，可以直接對樣品進行觀察，因此適用于分析各種形狀和大小的樣品。 SEM分析過程中，樣品表面被電子束轟擊后，會產(chǎn)生二次電子和背散射電子。這些電子會被探測器捕捉并轉(zhuǎn)換為電信號，形成圖像。SEM圖像具有高分辨率和高對比度，可以顯示出樣品表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌特征
SEM+EDS測試原理：
SEM：利用陰極所發(fā)射的電子束經(jīng)陽極加速，由磁透鏡加速后形成一束直徑為幾十埃到幾千埃的電子束流，這束高能電子束轟擊到樣品表面會激發(fā)多種信息，經(jīng)過分別收集，放大就能從顯示屏上得到各種相應的圖像
EDS： 入射電子束可停留在被觀察區(qū)域上的任何位置.X射線在直徑1微米的體積內(nèi)產(chǎn)生,可對試樣表面元素的分布進行質(zhì)和量的分析。
SEM+EDS主要檢測范圍
1.表面微觀結(jié)構(gòu)觀察及微小顆粒物尺寸量測
2.微薄鍍層厚度測量
3.表面失效分析（異色、腐蝕、損傷等檢測）；
4.表面相分析、夾雜物鑒別等；
5.金屬斷口分析；
6.焊接或合成界面分析；
7.錫須觀察
場掃描電鏡對樣品要求，如下：
1.樣品要盡可能干燥，若樣品中含有水份，水分揮發(fā)會造成倉內(nèi)真空度急劇下降，導致圖像漂移，有白色條紋，甚至會影響燈絲壽命；
2.熱穩(wěn)定性好，熱穩(wěn)定性差的樣品往往在電子束的轟擊下分解，釋放氣體和其他物質(zhì)，污染電鏡；
3.導電性好，導電性差的樣品會發(fā)生荷電效應，造成圖像畸變，亮點亮線，像散等；
4.不含強磁性，強磁性的樣品觀察一般會出現(xiàn)嚴重的像散，無法消去，磁性粉末如果粘的不牢固還可能會吸附到探頭上，損害電鏡
掃描電子顯微鏡（掃描電鏡SEM）：一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品, 通過光束與物質(zhì)間的相互作用, 來激發(fā)各種物理信息, 對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。
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