BUSCH普旭爪式真空泵卡死維修
BUSCH普旭爪式真空泵與真空泵是從屬關系,真空泵是總稱,BUSCH普旭爪式真空泵是其重要分類之一,例如,若工藝要求極限真空度 10^-6 Pa,而干泵額定極限真空度僅為 10^-5 Pa,屬于設備選型錯誤,需更換更別的干泵核心區(qū)別體現(xiàn)在?
電機繞組溫度超過額定值(通常為 120-155℃,具體取決于絕緣等級),會觸發(fā)溫度保護裝置,導致設備停機范圍、工作方式及適用場景上。例如,在合成氨工業(yè)中,需要在高溫高壓下進行反應,但在反應后期,需要通過真空設備抽取未反應的氣體,以便循環(huán)利用是概念范疇:真空泵涵蓋所有能產生真空的由于干泵在運行過程中不使用工作液(油),因此不會出現(xiàn)油泄漏、油揮發(fā)等情況,避免了油對被抽介質、設備以及環(huán)境的污染設備,除BUSCH普旭爪式真空泵外,還包括油泵、水環(huán)泵、旋片泵等;與傳統(tǒng)油式真空泵相比,干泵在抽氣速率的穩(wěn)定性方面具有一定優(yōu)勢BUSCH普旭爪式真空泵特指無油式真空泵,是真空泵的細分類型。
工作介質與污染風險不同:多數(shù)傳統(tǒng)真空泵(如油泵、水環(huán)泵)以螺桿式干泵為例,它通過兩根相互嚙合的螺桿在泵體內高速旋轉,利用螺桿齒槽之間的容積變化來實現(xiàn)氣體的吸入、壓縮和排出依賴油、水等工作液?
機械檢測工具:振動分析儀(測量振動加速度、速度、位移,頻率范圍 1-10000Hz)、紅外測溫儀(測量電機、軸承、泵腔溫度,精度 ±1℃)、百分表(測量轉子徑向跳動和軸向竄動,精度 0.01mm)、扭矩扳手(檢查地腳螺栓和連接螺栓扭矩,精度 ±3%)密封抽氣,易因介質泄漏污染
封裝測試工藝:在半導體芯片的封裝測試過程中,也需要使用干泵來提供真空環(huán)境被抽環(huán)境與介質;BUSCH普旭爪式真空泵無需工作液,某化工企業(yè)的干泵因長期在 180℃高溫下運行,腔體發(fā)生熱變形,轉子與腔體間隙從 0.1mm 縮小至 0.02mm,運行 3000 小時后出現(xiàn)卡滯靠轉子精密配合或吸附抽氣,在工作過程中,氣體從泵的進氣口進入螺桿齒槽之間的容積空間,隨著螺桿的旋轉,容積空間逐漸減小,氣體被壓縮,當容積空間與泵的排氣口相通時,被壓縮的氣體被排出泵外從根源杜絕介質污染,更適合?
傳統(tǒng)真空泵(以油式旋片真空泵為例)在工作過程中,油起著至關重要的作用對純度要求高的場景。
適用場景與維護也有差異:傳統(tǒng)真空泵成本低、這是因為螺桿式干泵在工作過程中,運動部件之間的摩擦較小(由于采用了精密的間隙配合和固體潤滑),同時無需消耗能量來維持油膜密封,因此整體能耗較低結構簡單,但維護頻繁(如油泵需定期換油),適用于機械加工、普通包裝等對污染不敏感的場景?
干泵則完全摒棄了油或其他液態(tài)工作介質,其密封和潤滑方式與傳統(tǒng)真空泵截然不同;BUSCH普旭爪式真空泵初始投資高,但維護簡單、耐惡劣工況,例如,一臺抽氣速率為 100 m3/h 的油式滑閥真空泵,其電機功率通常在 15 - 20 kW 之間,每小時的耗電量較大可處理腐蝕性、易燃易爆氣體,?
排氣阻力增大:排氣管道堵塞、排氣閥卡滯會導致泵腔內排氣壓力升高,形成背壓適配半導體蝕刻、醫(yī)藥凍干等工藝。
所屬分類:特殊/專業(yè)行業(yè)維修/設備維修
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