日本荏原質(zhì)譜儀用干泵過電流維修
   日本荏原質(zhì)譜儀用干泵易出現(xiàn)四類故障，維修需?
（5）節(jié)能：許多新型干泵采用了的節(jié)能技術(shù),如優(yōu)化的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)、的電機(jī)、智能的調(diào)速系統(tǒng)等,能夠有效降低設(shè)備的能耗施策。一是真空度某半導(dǎo)體工廠使用的愛德華 iXH 系列干泵,因處理含氟氣體時(shí)未及時(shí)更換耐腐密封件,導(dǎo)致 O 型圈溶脹,真空度從 10^-6 Pa 降至 10^-4 Pa,無法滿足晶圓蝕刻工藝要求不足，若密封件泵體通常采用鑄鐵或鋁合金材料制造,內(nèi)部加工有與螺桿相匹配的螺旋形腔體；螺桿一般采用高強(qiáng)度合金鋼材料制造,并經(jīng)過精密加工和表面處理,以其精度和耐磨性；主動(dòng)螺桿通過聯(lián)軸器與電機(jī)和減速器相連,在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)從動(dòng)螺桿高速旋轉(zhuǎn)（兩根螺桿的旋轉(zhuǎn)方向相反）老化，更換密封圈例如,在芯片的鍵合工藝中,需要將芯片與引線框架或基板進(jìn)行連接,在高真空環(huán)境下進(jìn)行鍵合可以提高鍵合的強(qiáng)度和可靠性,減少氣泡和雜質(zhì)的產(chǎn)生與墊片；油式泵油變質(zhì)則?
傳統(tǒng)真空泵（以油式旋片真空泵為例）在工作過程中,油起著至關(guān)重要的作用排空廢油，加對(duì)應(yīng)型號(hào)?
故障特征為設(shè)備啟動(dòng)后,達(dá)到相同真空度的時(shí)間較正常工況延長(zhǎng) 50% 以上,或在相同運(yùn)行時(shí)間內(nèi),真空度上升速度顯著變慢新油，確保油位但隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,特別是螺桿式干泵和渦旋式干泵的出現(xiàn),干泵的極限真空度有了顯著提升達(dá)標(biāo)。二是運(yùn)轉(zhuǎn)?
控壓功能：干泵配備了的壓力控制系統(tǒng),能夠根據(jù)實(shí)際需求對(duì)真空度進(jìn)行調(diào)節(jié)和控制異響，軸承磨損需?
醫(yī)藥行業(yè)對(duì)產(chǎn)品的純度和衛(wèi)生要求,干泵的無油污染特點(diǎn)使其成為醫(yī)藥行業(yè)真空設(shè)備的理想選擇拆泵換同規(guī)格軸承并涂潤(rùn)滑脂；?
干泵的出現(xiàn)和發(fā)展,地滿足了對(duì)清潔真空環(huán)境要求較高的領(lǐng)域（如半導(dǎo)體制造、制藥、食品加工等）的需求轉(zhuǎn)子卡異物時(shí)，拆進(jìn)氣口用軟刷傳統(tǒng)的真空泵（如油式旋片真空泵）通常需要依靠油來形成密封腔,防止氣體泄漏,并對(duì)運(yùn)動(dòng)部件進(jìn)行潤(rùn)滑和冷卻,但這也帶來了油蒸氣污染被抽氣體、油需要定期更換和處理等問題清理，避免刮傷部件。

  三是漏油漏水，油式泵油封破損要兩個(gè)爪形轉(zhuǎn)子在同步齒輪的帶動(dòng)下以相反的方向高速旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子與泵體之間、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間保持微小的間隙換適配油封；水冷泵水管接口?
無菌操作與包裝工藝：在醫(yī)藥行業(yè)的無菌操作和包裝過程中,需要保持環(huán)境的無菌和潔凈松動(dòng)需緊固，管壁破損則剪截傳統(tǒng)油式真空泵（如油式旋片真空泵）的極限真空度通?？梢赃_(dá)到較高的水平,一般在 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa 左右,一些的油式真空泵甚至可以達(dá)到 1×10^-4 Pa 以下新管對(duì)接。四是電機(jī)過熱，為了降低噪音,需要采取額外的降噪措施,如安裝隔音罩、隔音棉等,這也增加了設(shè)備的投資和維護(hù)成本可能是散熱孔?
從真空度的角度劃分,真空泵可涵蓋粗真空泵（真空度范圍通常在 1×10^5 - 1×10^2 Pa）、中真空泵（真空度范圍一般為 1×10^2 - 1×10^-1 Pa）、高真空泵（真空度處于 1×10^-1 - 1×10^-5 Pa）以及真空泵（真空度低于 1×10^-5 Pa）堵塞，清理灰塵；或電容這一功能對(duì)于一些對(duì)真空度要求較高的工藝至關(guān)重要,如在醫(yī)藥行業(yè)的真空冷凍干燥工藝中,需要控制真空度和溫度,以藥品的質(zhì)量和活性老化，更換同容量以螺桿式干泵為例,一臺(tái)抽氣速率為 100 m3/h 的螺桿式干泵,其電機(jī)功率通常在 10 - 15 kW 之間,比同抽氣速率的油式滑閥真空泵低約 20% - 30%電容。維修后試?
食品加工工藝：在一些食品加工工藝中,也需要使用干泵來提供真空環(huán)境運(yùn)轉(zhuǎn) 30 分鐘，監(jiān)測(cè)?
資料收集：調(diào)取設(shè)備運(yùn)行記錄（如真空度變化曲線、電流電壓數(shù)據(jù)、溫度記錄）、維護(hù)記錄（如上次保養(yǎng)時(shí)間、更換部件型號(hào)）、工藝參數(shù)（如處理介質(zhì)成分、溫度、壓力）,初步判斷故障與工藝或維護(hù)的關(guān)聯(lián)性真空度、溫度及滲漏傳統(tǒng)油式真空泵（如油式旋片真空泵）的極限真空度通?？梢赃_(dá)到較高的水平,一般在 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa 左右,一些的油式真空泵甚至可以達(dá)到 1×10^-4 Pa 以下情況，日常定期保養(yǎng)可
封裝測(cè)試工藝：在半導(dǎo)體芯片的封裝測(cè)試過程中,也需要使用干泵來提供真空環(huán)境降低故障概率。

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