晶圓升降機(jī)構(gòu)中的真空吸附系統(tǒng)是用來吸附和釋放品圓,從而進(jìn)行晶圓的檢測和傳輸,以便實(shí)現(xiàn)傳輸?shù)?。機(jī)構(gòu)要求晶圓定位精度高,真空吸附系統(tǒng)在吸附和釋放晶圓過程中盡量減小沖擊,要求吸附的時候應(yīng)當(dāng)緩慢地增加或減小真空壓力,使得壓力變化為斜坡變化,大限度減小晶圓在真空吸附下精度的損失。
有些機(jī)器具有緩沖存放系統(tǒng),使工藝過程總可以有新的晶圓準(zhǔn)備被加工(或給圖形化設(shè)備的放大掩模版),從而使機(jī)器的效率大化。這些稱為儲料器。操作員將片匣放在機(jī)器的上載器上,按下開始鍵,然后的工藝過程就交給機(jī)器來做。在300mm晶圓的水平,片匣可能會被一個單的晶圓承載器或輸運(yùn)器所替代。
在制造IC的生產(chǎn)線中,已全面采用了計(jì)算機(jī)控制和機(jī)器人搬運(yùn)。對于復(fù)雜的作人為失誤在所難免,而且在潔凈室中,即使操作者身著無塵服,也不免造成污染。采用計(jì)算機(jī)控制和機(jī)器人搬運(yùn),可提高產(chǎn)品質(zhì)量和安全性,從而降低成本。
所屬分類:電子產(chǎn)品制造設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備
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