| 供應(yīng)商 | 蘇州碩世微電子有限公司 店鋪 |
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| 認(rèn)證 | |
| 報(bào)價(jià) | 面議 |
| 關(guān)鍵詞 | 生產(chǎn)晶圓扶梯,晶圓扶梯晶圓工具扶梯,煙臺晶圓扶梯,銷售晶圓扶梯 |
| 所在地 | 江蘇蘇州園區(qū)東富路32號 |
13年
位移是物體在運(yùn)動過程中位置變化，它與移動量有關(guān)。小位移通常用應(yīng)變式、渦流式、差動變壓器式、電感式、霍爾傳感器來檢測，大位移常用感應(yīng)同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術(shù)來測量。本文采用測量直線位移量的傳感器，具體有電感式位移傳感器、電容式位移傳感器、光電式位移傳感器、超聲波位移傳感器、霍爾式位移傳感器。
晶圓升降機(jī)構(gòu)是自動控制的，通過音圈電機(jī)完成升降運(yùn)動。如果電機(jī)失控此時(shí)機(jī)構(gòu)正處于升降運(yùn)動中，運(yùn)動部件會上升到高點(diǎn)停不下來頂住外部結(jié)構(gòu)過長時(shí)間從而損壞電機(jī)。為了避免以上問題，在機(jī)構(gòu)中增加保護(hù)措施，確保機(jī)構(gòu)運(yùn)行的安全性。
有些機(jī)器具有緩沖存放系統(tǒng)，使工藝過程總可以有新的晶圓準(zhǔn)備被加工（或給圖形化設(shè)備的放大掩模版），從而使機(jī)器的效率大化。這些稱為儲料器。操作員將片匣放在機(jī)器的上載器上，按下開始鍵，然后的工藝過程就交給機(jī)器來做。在300mm晶圓的水平，片匣可能會被一個單的晶圓承載器或輸運(yùn)器所替代。
所屬分類：電子產(chǎn)品制造設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備
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