江蘇太倉離子泵回收 江蘇太倉單晶爐回收

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浮力提拉單晶爐提拉機構(gòu)特性分析\一、引言 浮力提拉單晶爐(簡稱FTD)是利用浮力原理設(shè)計成的提拉式單晶爐帕,十多年來,用它先后生長成功了多種晶體〔2一5〕。這種爐子容易制造,成本低,易于推廣,目前國內(nèi)已有幾個廠家使用它生產(chǎn)泥酸鏗單晶。作為一種發(fā)明,FTD也受到肯定和重視。可是,FTD在問世以后,卻沒有進行深入探討。雖然FTD的設(shè)計有過幾次變化,但由于沒有掌握設(shè)計的則,致使FTD存在不同程度的提拉不均勻現(xiàn)象,嚴重地影響了它的推廣普及。為了改善它的提拉特性,我們研究了FTD浮力提拉原理,對多臺FTD作了分析對比,由此找出了提拉不均勻性產(chǎn)生的根源;明確了FTD提拉機構(gòu)的設(shè)計要領(lǐng)。希望這-一卜作能夠推動FTD的發(fā)展.并有助于單晶的生長研究和生產(chǎn)。二、FTD浮力提拉原理、提拉不均性的產(chǎn)生習C^l 奮幽1吮止~乙二丁~二二二Dr1.甲一一一一一一1。}

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提拉式單晶爐技術(shù)參數(shù)1、電源電壓：380VAC±5%2、電源頻率：50HZ 3、電源相數(shù)：3相3線制4、變壓器容量：190KVA5、加熱器加熱功率：160KW6、加熱溫度：1600℃7、加熱器加熱電壓：60V8、冷爐極限真空度：＜a9、晶體直徑：￠6〞～￠8〞10、熔料量 ：90Kg11、主爐室尺寸：φ900×1250mm上爐室尺寸：φ900×900mm下爐室尺寸：φ900×350mm12、翻板閥通徑：φ280mm13、封頭爐蓋高度：410mm14、副爐室尺寸：φ280×250015、籽晶轉(zhuǎn)速范圍：1～40rpm16、籽晶拉速范圍：0.2～8mm/min17、籽晶快速：≥350mm/min18、籽晶在爐內(nèi)有效行程：3500mm19、籽晶在副室內(nèi)有效行程：2100mm20、坩堝升速范圍：0.02～1mm/min21、坩堝快速：≥100mm/min22、坩堝在爐內(nèi)有效行程：400mm23、坩堝轉(zhuǎn)速范圍：1～30rpm24、兩個電極孔孔距：480mm 25、耗水量：25m3/h26、主機占地面積：2500x2000mm27、主機高度：6800mm28、主機重量：約7500Kg分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，為了方便副爐室3移動到取晶位，并方便副爐室3的拆解、清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括副爐室升降驅(qū)動裝置12和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13，所述所述副爐室3通過副爐室旋臂14連接在副爐室升降驅(qū)動裝置12上，以便通過副爐室升降驅(qū)動裝置12驅(qū)動副爐室旋臂14升降，并通過副爐室旋臂14帶動副爐室3升降，所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13連接在副爐室升降驅(qū)動裝置12和副爐室旋臂14之間，以便使得副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13隨副爐室旋臂14一起升降，并通過副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13驅(qū)動副爐室旋臂14旋轉(zhuǎn)，副爐室旋臂14又帶動副爐室3旋轉(zhuǎn)。

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