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臺南M4D9-17劃片刀,萬州M4D9-17劃片刀,樂山M4D9-17劃片刀,興安盟M4D9-17劃片刀 |
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劃片刀的選擇一般來說要兼顧切割質量、切割刀片壽命和生產(chǎn)成本。金剛石顆粒尺寸影響劃片刀的壽命和切割質量。較大的金剛石顆粒度可以在相同的刀具轉速下,磨去更多的硅材料,因而刀具的壽命可以得到延長。然而,它會降低切割質量(尤其是正面崩角和金屬/ILD得分層)。所以,對金剛石顆粒大小的選擇要兼顧切割質量和制造成本。
金剛石顆粒的密度對切割質量的控制也十分關鍵。對于相同的金剛石顆粒大小但具有不同密度的刀片,劃片刀每一個旋轉周期移去的硅材料是相同的,但是,平均到每一個金剛石顆粒移去的硅材料的量是不同的。
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高密度的金剛石顆粒可以延長劃片刀的壽命,同時也可以減少晶圓背面崩角。而低密度的金剛石顆??梢詼p少正面崩角。硬的粘結材料可以更好地“固定”金剛石顆粒,因而可以提高劃片刀的壽命,而軟的粘結材料能夠加速金剛石顆粒的“自我鋒利”(Self Sharpening)效應,令金剛石顆粒保持尖銳的棱角形狀,因而可以減小晶圓的正面崩角或分層,但代價是劃片刀壽命的縮短。刀鋒的長度應根據(jù)晶圓的厚度,承載薄膜的厚度,大允許的崩角的尺寸來進行定義,刀鋒不能選得過長,因為長的刀鋒會在切割時引起刀片的擺動,會導致較大的崩角。
崩邊
正崩主要發(fā)生在晶圓的切割面(正面),背崩是指晶圓背面的崩邊。不管正崩與背崩,在晶圓劃片時都是不被允許的。崩邊產(chǎn)生的原因有:
1,不恰當?shù)那懈顓?shù)導致崩邊
2,刀片磨損嚴重,鈍化的刀片邊緣增加了切割過程中的不規(guī)則作用力,從而增加了崩邊的可能性
3,刀片中的金剛石等磨料顆粒在切割過程中與晶圓表面材料發(fā)生撞擊,導致崩邊
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北京汐源科技有限公司
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