產(chǎn)品別名 |
aerotech振鏡,激光振鏡 |
面向地區(qū) |
AGV-SPO單軸點(diǎn)振鏡
關(guān)鍵詞：?jiǎn)屋S振鏡/aerotech激光振鏡/振鏡
Aerotech的AGV-SPO單樞軸檢流計(jì)掃描儀可替代傳統(tǒng)的兩鏡振鏡掃描儀。AGV-SPO源自流行的AGV-HPO掃描儀，可為關(guān)鍵的激光微加工應(yīng)用提供更大的視野并減少點(diǎn)畸變。
設(shè)計(jì)特點(diǎn)
· 比傳統(tǒng)的2D掃描儀更大的視野，簡(jiǎn)化了較大零件的處理
· 在整個(gè)視場(chǎng)中將光斑失真降至低，從而將質(zhì)量的激光加工零件的加工偏差降至低
· 空氣和水冷卻選件可提供熱穩(wěn)定性并提高長(zhǎng)期精度
· 適用于各種激光波長(zhǎng)的多種鏡面處理選擇
模型 | AGV14SPO | |
光學(xué)性能 | ||
光束孔徑 | 14毫米 | |
掃描角度 | ±20° | |
光束位移 | 35毫米 | |
抖動(dòng)（小增量運(yùn)動(dòng)）（2） | RMS 0.3微弧度 | |
準(zhǔn)確性 | 50微弧度pk-pk | |
重復(fù)性（3） | 均方根值 0.6 μrad | |
增益誤差 | 0.05弧度 | |
非線性度 | 0.005％ | |
動(dòng)態(tài)表現(xiàn) | ||
追蹤誤差 | 0微秒 | |
峰值加速度（4,5） | 60,000 m / s 2 | |
連續(xù)加速（4，6） | 20,000 m / s 2 | |
定位速度（4） | 50 m /秒 | |
處理速度（4、7、8） | 5 m / s5 | |
跳躍和穩(wěn)定時(shí)間，移動(dòng)1毫米（ 4，9 ） | 700微秒 | |
穩(wěn)定性 | ||
長(zhǎng)期漂移 | 偏移量 | 10 μrad / 12小時(shí) |
15微弧度/ 24小時(shí) | ||
獲得 | 10 ppm / 24小時(shí) | |
熱漂移 | 偏移量 | 20微弧度/°C |
獲得 | 1 ppm /℃ | |
機(jī)械規(guī)格 | ||
大視野，光斑失真小
特的光學(xué)設(shè)計(jì)可有效控制光束入射光瞳，使其與X和Y掃描儀運(yùn)動(dòng)保持一致，從而增加了掃描儀系統(tǒng)的有效數(shù)值孔徑。這種設(shè)計(jì)直接為給定的焦距提供了更大的視野，并減少了整個(gè)工作區(qū)域上的光斑失真。這些優(yōu)勢(shì)意味著AGV-SPO能夠更快，更一致地處理更大的零件。
設(shè)計(jì)配置
AGV-SPO可提供多種光學(xué)涂層和聚焦光學(xué)器件，以支持各種常用的激光波長(zhǎng)和焦距。為了滿足其他需求，Aerotech可以根據(jù)要求為AGV-SPO提供定制的光學(xué)元件和光學(xué)安裝功能。AGV-SPO可以配置有風(fēng)冷鏡，水冷電機(jī)或兩者。這些主動(dòng)冷卻功能有助于在存在由激光引起的熱干擾以及劇烈運(yùn)動(dòng)的情況下，保持工作平面的準(zhǔn)確性。
編程功能
AGV-SPO充分利用了Aerotech的所有運(yùn)動(dòng)和位置同步輸出（PSO）功能，這些功能是為具有傳統(tǒng)振鏡和伺服平臺(tái)的激光加工應(yīng)用開發(fā)的。諸如“加速限制”之類的輪廓功能可用于自動(dòng)減小急轉(zhuǎn)彎或小半徑時(shí)的速度，以程度地減小過沖?？梢曰趲в?/span>PSO的反射鏡的位置反饋來觸發(fā)激光，以確保隨著掃描儀速度的改變，一致的光斑重疊。
Aerotech的無限視場(chǎng)（IFOV）功能無縫地結(jié)合了伺服和掃描儀的運(yùn)動(dòng)，從而在整個(gè)伺服平臺(tái)的整個(gè)行程范圍內(nèi)擴(kuò)展了掃描儀的標(biāo)記能力，從而消除了在更傳統(tǒng)的移動(dòng)-曝光-重復(fù)過程中可能發(fā)生的縫合錯(cuò)誤。
北京高控科技有限公司 6年
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